超精密非接触三次元測定機 NH-3SP 特徴

超精密・ナノ加工センター.comでは、こちらの超精密非接触三次元測定機 NH-3SPを、光学レンズ用金型やマイクロレンズアレイの高精度測定に使用しております。

X及びY軸分解10nm、Z軸分解の1nmという、超高精度測定を実現しています。また半導体レーザーを用いたポイントオートフォーカス法による非接触測定のため、マイクロレンズアレイやフレネルレンズ、回折格子などの非破壊測定が可能です。

この超精密非接触三次元測定機によって、レンズ金型等の形状測定やマイクロレンズアレイのピッチ計測等の検査を高精度かつ高効率な測定を行うことができます。