プローブカード測定治具(微細穴 1000箇所)

名称 プローブカード測定治具(微細穴 1000箇所)
材質 マセライトMMHSP(黒崎播磨製)
サイズ 0.1X10X10
精度 Φ30μm貫通 1000カ所
加工方法 超精密切削加工
業界 半導体

こちらは、マセライトMMHSPに微細穴加工を施した事例です。超精密切削加工でΦ30μmの穴を1000個あけました。一般的に1000個もの微細な穴をあけると工具は摩耗し、結果としてコストアップに繋がります。

そこで、超精密ナノ加工センターでは加工条件を工夫。上図の通り工具が摩耗せずに穴をあけることができました!