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こちらは、マセライト(ワーク厚0.2mm)に微細穴加工を施した事例です。超精密切削加工で平均Φ26.2μｍの穴を開けることに成功しました。一般的にスギ花粉の粒径が30~40μmと言われていますので、それよりも小さいことになります。ピッチ間誤差は1μmを切り、なんと平均0.7μm。

写真は被削材の裏面を撮影したもので、一般的に裏面は欠けやバリなどが目立つことが少なくありませんが、ご覧の通りまったく見受けられません。

また、加工結果の測定に用いたのが三鷹光器の超精密非接触三次元測定機NH-3SP。NH-3SPは”1nm”単位の超精密非接触測定が可能なため、マイクロレンズアレイのピッチ測定や非破壊測定において第一級の三次元測定機です。

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微細穴加工における重要なポイント