レーザー干渉計用Nullミラー原器

レーザー干渉計用Nullミラー原器
  • レーザー干渉計用Nullミラー原器
名称 レーザー干渉計用Nullミラー原器
材質 STAVAX(HRC53)+無電解NiPメッキ
サイズ 有効範囲Φ5mm
精度 形状0.037μm(ベストフィット無し)、面粗度Ra1.6nm(研磨レス)
加工方法 単結晶ダイヤモンドバイトによる超精密鏡面加工仕上げ(非球面部+隣接する基準平面)
業界 スマートフォン用レンズ等の小径レンズ量産品質検査

レーザー干渉計を用いた光学レンズ検査に用いる参照ミラーです。
干渉計から出たレーザー光は測定対象となるレンズを透過し参照ミラーで反射、
再び測定対象レンズを通過後、干渉計に戻るようになっています。

参照ミラーの形状特性を測定対象のレンズが設計値通りになっていた際、
参照ミラー反射後に同じ光路で帰っていくように設計しておくと、もし作製したレンズに誤差があれば
最終的に干渉計に帰っていく光が乱れ、形状誤差として認識できるようになります。

これは非常に古くからレンズ評価に用いられる方法ですが、非球面レンズや昨今のスマートフォンに利用されるような
異形の回転対象非球面レンズに対応する参照レンズを加工するためには、通常の研磨レンズを製造するプロセスでは加工が困難です。

現状の多種多様な異形レンズ評価に使用する参照ミラーを作製するには、超精密加工機を用いた鏡面加工が不可欠です。

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