超高精度三次元測定機 UA3P-300　特徴

パナソニック製の超高精度三次元測定機UA3Pは、原子間力プローブを用いた極低圧測定により、表面への損傷を最小限に抑えた走査測定が可能です。非接触測定と比較して無反射コートされたレンズも測定でき、最大60°の傾斜も対応可能です。

この測定機は、3枚の参照平面（ミラー）を用いた座標系と、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法により、XYZ各軸を分解能0.3nmで測長する座標測定技術を採用しています。これにより、ステージの直角度・真直度による影響が抑制され、高精度測定が実現されます。また、上面測定用（AFP）と側面測定用（S-AFP）の2種類の測定プローブがあり、超低測定力で高精度スキャニング測定が可能です。

測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定を実現するコア・ソフトウェア技術や、上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価できる上側面測定技術も搭載されています。