非接触表面測定機 New View 200　特徴

ZYGO製の非接触表面測定機 New View 200は、白色光3D光学干渉計であり、表面を測定するために非破壊検査が実施できる機械になります。性能は、ナノスケールの高さ分解能が約1 nmで、横方向の分解能は0.3 μmから20 μmになります。また、広範囲のマッピングが可能で、自動化機能を使用して単一のイメージのモンタージュを作成できます。

そして、ビームスプリッターとプリッターで参照面を作成して、サンプル表面のトポグラフィを測定します。2つの間の位相差は、参照面の高さを調整し、収集した画像の各ピクセルに対する影響を分析することによって解析されます。これは、付属のソフトウェアであるMetroProによって実行され、z軸値が干渉計的に決定され、横方向の距離はオブジェクティブレンズのキャリブレーションによって計算された3Dデータセットの結果として得られます。