こちらは、ダイヤモンドに匹敵するほどの硬度をもつSiC（炭化ケイ素）で製作した鏡面ミラーになります。加工に用いた機械は、ナノレベルの加工が可能な東芝機械の超精密非球面加工機 ULG-100D(SH3)です。

”硬くて脆い”硬脆材料のSiCは、加工過程で欠けが発生しやすい難加工材の一つ。そのため加工時間が長くなり、その分金型代が上がってしまうのが一般的です。また、チャッキングで固定すると割れやすいという問題もあります。

木村製作所では、素材の固定方法を工夫し、ワックスで治具に固定することで割れを防ぐことに成功。手磨きレスでRa0.2μmという高精度を実現しました。

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