抄録

多くの超精密微細形状金型はダイヤモンド工具による直接の切削加工や研削加工で創成が可能であるが，電気鋳造により１時金型を反転することにより創成しなければならない場合が多々ある．しかし従来の電気鋳造法では，形状の転写性の悪化，表面粗さの悪化，形状の変化などの問題点がある．そこで，ダイヤモンド切削と無電解Niめっきを応用した厚膜めっきにより，それらの改善を試みたので報告する．

論文情報

発行日	2015/08/20
著者	*鈴木 浩文, 岡田 睦, 中川 恒裕, 池田 安生, 三村 健, 大村 昭, 木村 俊彦, 松岡 伸夫
論文名	無電解ニッケル厚膜めっきを用いた精密めっき鋳造法による微細金型の創成
掲載先	2015 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,P235-236
キーワード	微細形状の創成, 精密電気鋳造法, 無電解ニッケル厚めっき, ダイヤモンド切削, マイクロアレイ金型
掲載先URL	https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2015A/0/2015A_235/_article/-char/ja/#article-overiew-abstract-wrap