抄録

マイクロレンズアレイは従来、射出成形が主流であるが，加工に熱収縮を伴うため、寸法精度が確保しにくい．紫外線（UV）硬化樹脂成形では，紫外線照射で硬化するため，転写精度の向上が期待される．本研究では，Rバイトで無電解Ni製金型を超精密切削し、高精度が得られることを示した．さらに，この金型を用いたUV成形実験を行い，マイクロレンズアレイが精密成形でき、硬化時に空気圧を与えることで、精度が良好になった。

論文情報

発行日	2016/08/20
著者	*秋山 裕亮, 岡田 睦, 鈴木 浩文, 難波 義治, 三村 健, 古南 典正
論文名	UV成形によるマイクロレンズアレイの精密成形
掲載先	2016 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,P15-16
キーワード	超精密切削, 精密成形, UV成形, ナノインプリント, マイクロレンズアレイ
掲載先URL	https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2016A/0/2016A_15/_article/-char/ja/